先進(jìn)多功能二維材料生長(zhǎng)系統(tǒng) BTF-1200C-II-SSL-CVD

主要特點(diǎn)

　　1.此款設(shè)備提供兩個(gè)獨(dú)立滑動(dòng)的溫場(chǎng)，兩溫場(chǎng)獨(dú)立控制，每個(gè)溫場(chǎng)的加熱區(qū)的長(zhǎng)度為230mm，可在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中推進(jìn)或推離樣品，提供兩個(gè)位置的快升降溫。

　　2.縱向多接口真空法蘭設(shè)計(jì)，各種附加接口具有高度可擴(kuò)展性。航空鋁合金法蘭支架外形美觀，輕便堅(jiān)固耐腐蝕，安裝調(diào)節(jié)簡(jiǎn)便易學(xué)。避免傳統(tǒng)鈑金法蘭支架的安裝調(diào)節(jié)不便，在安裝多種附件時(shí)容易導(dǎo)致法蘭偏斜漏氣甚至石英管意外破碎的情況。

　　3.同時(shí)法蘭端采用卡箍密封，這樣就使進(jìn)料出料更加的方便。

　　4.采用觸摸屏和工控電腦自動(dòng)控制，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便，參數(shù)自動(dòng)記錄保持。

　　5.進(jìn)氣系統(tǒng)可以按照客戶的實(shí)驗(yàn)需求配置幾路質(zhì)量流量計(jì)，流量計(jì)的量程也可以選擇不同的配置，真空系統(tǒng)也可以根據(jù)客戶的需求選擇配置各種真空泵。

雙獨(dú)立溫場(chǎng)滑軌爐BTF-1200C-II-SSL

爐管尺寸：外徑(50mm,60mm,80mm,100mm)可選

加熱元件:電阻絲(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)加熱區(qū)長(zhǎng)度：230mm+230mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 80mm+80mm(±1℃)

工作溫度：1100℃

*高溫度：1200℃

控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能

控溫精度:±1℃ 升溫速度：20度/分鐘

爐門(mén)結(jié)構(gòu)：開(kāi)啟式

工作電源：AC220V /50HZ 額定功率:4KW

供氣系統(tǒng)

標(biāo)準(zhǔn)量程(N2)：100sccm、200sccm、500sccm;

準(zhǔn)確度：±1.5%

線性：±0.5～1.5%

重復(fù)精度：±0.2%

響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

*大壓力：3MPa

連接頭類(lèi)型：雙卡套不銹鋼接頭Φ6

低真空系統(tǒng)

空氣相對(duì)濕度≤85%

工作電電壓：220V±10% 50~60HZ

功率：1千瓦

抽氣速率：4L\s

極限真空：4X10-2Pa

實(shí)驗(yàn)真空度：1.0X10-1Pa