滑軌式CVD石墨烯生長系統(tǒng)（BTF-1200C-SL-CVD）

*高溫度

1200℃

使用溫度

≤1100℃

石英管尺寸

Φ25/φ50/φ60/Φ80/φ100*1400mm

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定。

加熱長度

440mm

恒溫區(qū)長度

200mm

加熱原件

電阻絲

供電電源

單相，220V，50Hz

連接頭類型

雙卡套不銹鋼接頭

標(biāo)準(zhǔn)量程（N₂)

200sccm，500sccm、1000sccm（可根據(jù)用戶要求定制）

準(zhǔn)確度

±1.5%F.S

線性

±1%F.S

重復(fù)精度

±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間

氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍

0.1～0.5 MPa

*大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內(nèi)外雙拋不銹鋼管

Φ6

空氣相對濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃～40℃

工作電電壓

220V±10%  50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m³/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105～1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連