單工位大口徑快速退火爐RTP-1200C-200-SL
產(chǎn)品關(guān)鍵詞：快速退火 真空 氣氛
- 產(chǎn)品名稱：單工位大口徑快速退火爐RTP-1200C-200-SL
- 產(chǎn)品編號：
- 產(chǎn)品商標(biāo)：BEQ
- 產(chǎn)品規(guī)格：空
- 參考價格：面議
- 更新時間：2021/2/26 9:40:33
- 點擊次數(shù)：3343次
結(jié)構(gòu)與原理：
設(shè)備組成：單端封口小型紅外滑軌爐、 電機調(diào)速裝置、高真空機組、流量控制系統(tǒng)及工控電腦操作系統(tǒng)。
1、單端封口小型紅外滑軌爐：
該加熱系統(tǒng)采用國際先進(jìn)制造工藝，造型新穎結(jié)構(gòu)合理，爐體爐管可實現(xiàn)自動分離，爐體上下兩半設(shè)計，氣動彈簧支撐結(jié)構(gòu)讓操作者可各角度自由打開，安全可靠。爐膽采用高密度純氧化鋁聚輕纖維材料真空吸附成型，表面涂覆高反射率的超高溫保護(hù)涂層，除能夠保持其能量的*低損耗，還能增強高溫穩(wěn)定性，可有效減少熱能損耗。
該滑軌爐加熱系統(tǒng)由紅外燈管加熱，采用內(nèi)插熱電偶控溫的方式實時顯示石英腔體內(nèi)部溫度，加熱區(qū)長度為370mm，恒溫區(qū)長度200mm，確保兩個φ100*100mm的夾具可放置在恒溫區(qū)內(nèi)，為讓樣品在爐管內(nèi)的中心位置，考慮石英置物架的高度，石英管管徑綜合考慮在210mm，恒溫區(qū)200mm內(nèi)的溫場均勻性控制在±5℃，升溫速率≤30℃/s, 整個石英腔體直接劃出爐膛，樣品降溫過程可在通入一定量保護(hù)氣體的條件下快速降溫，平均降溫速率可達(dá)到2℃/s， 試樣反應(yīng)區(qū)處在一個密閉的石英腔體內(nèi)，在完成工藝的同時大大降低了間接污染試樣的可能性。采用石英管堵維持爐內(nèi)的溫場均勻性及石英艙體內(nèi)的潔凈度。
2、電機調(diào)速裝置：
伺服電機調(diào)速裝置用于控制絲桿的轉(zhuǎn)動速度，達(dá)到控制爐管部分的整體移動速度（含樣件），以此調(diào)整快速升降溫的目標(biāo)速率，電機旋轉(zhuǎn)速度實時顯示并且*可控，以獲得*的移動速度，滿足降溫時工藝參數(shù)要求。
3、主要參數(shù)
|
加熱系統(tǒng) |
|
|
供電電源 |
220V，50Hz |
|
額定功率 |
10KW |
|
石英管尺寸 |
Φ210*370mm（爐管直徑可根據(jù)實際需要定制。） |
|
爐膛材料 |
氧化鋁、高溫纖維制品 |
|
加熱原件 |
電阻絲 |
|
控溫精度 |
±5℃ |
|
熱電偶類型 |
K型熱電偶（內(nèi)插） |
|
控制方式 |
該系統(tǒng)人機界面+PLC控制，10寸液晶屏顯，顯示器可直接顯示真空度、氣體流量、熱電偶溫度、電機旋轉(zhuǎn)速度等信息。 |
|
氣路系統(tǒng) |
|
|
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2) |
1000sccm（可根據(jù)用戶要求定制） |
|
準(zhǔn)確度 |
±1.5% |
|
線性 |
±0.5～1.5% |
|
重復(fù)精度 |
±0.2% |
|
響應(yīng)時間 |
氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
|
工作壓差范圍 |
0.1～0.5 MPa |
|
*大壓力 |
3MPa |
|
接口 |
Φ6,1/4'' |
|
工作環(huán)境溫度 |
5~45高純氣體 |
|
真空系統(tǒng) |
|
|
機械泵 |
抽氣速率：4L/S 容油量：1.1L 電機功率：400W~ 極限壓強：6×10-2Pa |
|
分子泵 |
抽氣速率：100L/S 極限壓強：1×10-4Pa 啟動時間：＜2min 額定轉(zhuǎn)速：4300轉(zhuǎn)/分 冷卻方式：環(huán)境溫度5-32℃時，風(fēng)冷；5-40℃時看，水冷。 |
|
分子泵控制器 |
電壓：220V±22V 啟動電流：≤7A 輸入頻率：47HZ—63HZ *大輸出功率：≤150W *大加速電壓：≤40V 加速時間：≤3min 頻率（雙速）：高速705HZ±10HZ 低速430HZ±5HZ |
|
復(fù)合真空計 |
測量路數(shù)：2路（電阻規(guī)、電離規(guī)各1路） 工作模式：手動/自動 電阻單元參數(shù) 規(guī)管型號：ZJ-52T電阻規(guī) 測量范圍：1.0×105Pa~1.0×10-1Pa 有效范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 控制范圍：2.5×103Pa~5.0×10-1Pa 電離單元參數(shù) 規(guī)管型號：ZJ-27電離規(guī) 可測范圍：5.0Pa~1.0×10-5Pa 有效范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 控制范圍：1.0Pa~5.0×10-5Pa 規(guī)管除氣方式：焦耳去氣 其他參數(shù) 控制路數(shù)：4路 控制方式：點動或區(qū)域控制/帶掉電記憶 控制精度：±1% 采樣時間：1S 電源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用環(huán)境溫度：0℃~45℃ 濕度：≤85% |
|
連接管路 |
采用全不銹鋼，電拋光制作，零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s |
蘇公網(wǎng)安備32041102000018號